Vaakumpahjud on vaakumkuumtöötlusahjud, mis jagunevad vastavalt kasutusseadmetele ja sisaldavad järgmisi tüüpe:
Vaakumjahutusahi, vaakumjootmisahi, vaakumlõõmutusahi, vaakummagnetiseerimisahi, vaakumkarastusahi, vaakumpaagutamisahi, vaakum-difusioonkeevitusahi, vaakumkarburiseerimisahi jne.
Kuumutusmeetodi järgi jaguneb vaakum ahi vaakumtakistusahjuks, vaakum-induktsioonahjuks, vaakum-elektrikaaarahjuks, vaakum isetarbitavaks elektrikaarahjuks, elektronkiireahjuks (tuntud ka kui elektrooniline pommitamisahi) ja plasmaahjuks.