Vaakumpahi koosneb üldiselt peamasinast, ahjukambrist, elektrikütteseadmest, suletud ahju kestast, vaakumsüsteemist, toitesüsteemist, temperatuuri reguleerimissüsteemist ja välisest transpordivahendist. Suletud ahju kest on keevitatud süsinikterasest või roostevabast terasest ning eemaldatavate osade ühenduspinnad on tihendatud vaakumtihendusmaterjaliga. Vältimaks ahju kesta kuumutamisel deformeerumist ja tihendusmaterjali riknemist kuumutamisel, jahutatakse ahju kesta üldjuhul vesi- või õhkjahutusega. Ahjukamber asub suletud ahju kesta sees. Sõltuvalt ahju otstarbest on ahjukamber varustatud erinevat tüüpi kütteelementidega, nagu takistid, induktsioonpoolid, elektroodid ja elektronpüstolid. Metalli sulatamiseks mõeldud vaakumahjud on varustatud tiiglitega ja mõned on varustatud automaatsete valamiseseadmete ja manipulaatoritega laadimiseks ja mahalaadimiseks. Vaakumsüsteem koosneb peamiselt vaakumpumbast, vaakumventiilist ja vaakummõõturist.