Tunnusjoon
● Maksimaalne temperatuur RT-1200 kraadi
● Split tüüpi ahi, saate ahju avada.
● Võimaldab sisestada rohkem kui 2 kanalit gaasi vaakumastmega 10 Pa, kasutades signaali tugevdamiseks mehaanilist pumpa ja 500 W RF-toiteallikat.
● Kvaliteetsed alumiiniumoksiidi keraamilised kiud isolatsioonimaterjalid
● Temperatuuri reguleerimise täpsus ±1 kraad
● Ületemperatuuri häirefunktsiooniga
● Jahutusventilaator võib korpuse temperatuuri alandada
|
Mudel |
SK2-CVD-12TPB4 |
|
Mõõdud: standardne küttetsooni pikkus (mm) |
440 mm |
|
Mõõdud: standardse toru läbimõõt (mm) |
∮60 mm |
|
Max.temperatuur |
1200 kraadi, pidev töötemperatuur 1100 kraadi. |
|
Pinge (V) |
220 1P |
|
Termopaari tüüp |
K |
|
Kütteelement |
HRE sulami takistustraat |
|
Temp.Täpsus |
±1 kraadi |
|
Küttekiirus |
0-30 kraadi/min vaba reguleerimine |
|
Kambri materjal |
Kasutades täiustatud kvaliteetset alumiiniumoksiidi mikrokristallkiudmaterjali |
|
Ahju struktuur |
Kahekihiline õhkjahutusega struktuur, pinnatemperatuur on alla 60 kraadi |
|
Temperatuuri regulaator |
Intelligentne PID temperatuuri reguleerimise instrument, 30 programmisegmenti, SSR juhtimine, PID parameetri isehäälestusfunktsioon; programm temperatuuri tõstmine, programm soojuse säilitamine, programm jahutus |
|
500W RF toiteallikas |
Väljundvõimsus: 5-500W ±1 kraadi RF-sagedus: 13,56 MHz ±0,005% Peegeldunud võimsus: kuni 100W Sobivus: automaatne RF liides: 50Ω, N-tüüpi Jahutus: õhkjahutus Toiteallikas: AC 208-240V, 50/60HZ |
|
4 gaasikanaliga täppisvoolusüsteem |
1. Täisskaala voolukiirus (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10L/min. 2. Klapi tüüp: Solenoldi klapp. 3. Klapi puhkeasend: tavaliselt suletud. 4. Diferentsiaalrõhk: (50-300) kpa 5. Survekindlus: 3mpa. 6. Töötemperatuur: 5-45 kraadi 7. Materjalid: roostevaba teras 316L. |
|
Vaakumsüsteem |
5*10-3Pa KF25 kiirühendus, roostevabast terasest lõõts, manuaalne klapp ja äärik, vaakumpump Valikuliselt saab varustada ka kõrgemaid vaakumsüsteeme.
|
|
TERE TULEMAST OEM/ODM |
|
Standardtarvikud
Termokindad|Tiiglikonks|Termopaar|Toruplokk|Kasutusjuhend |Tööriistad|Vaakumpump| Kvartstoru |Äärik |Tihendusrõngas |10mm gaasivoolik |Ääriku tugi, Gaasisüsteem, RF-võimsus.
Valikuline
Teie valitud erinev küttetsoon;
LCD puutetundliku ekraani juhtimine valimiseks
RS485/USB-port arvuti ühendamiseks.
Üksikasjalik pilt CVD-PECVD jaoks



Rakendus
Seda seadet kasutatakse peamiselt nanojuhtmete kasvatamiseks või erinevate õhukeste kilekasvude ettevalmistamiseks CVD meetodil.
Garantii
Üheaastane garantii ja eluaegne tehniline tugi
Spetsiaalsed näpunäited:
1. Kulumaterjalid nagu kütteelement, kvartstoru, proovitiigel jne ei kuulu garantiiaja alla.
2. Garantii ei hõlma söövitava gaasi ja happegaasi kasutamisest põhjustatud kahjustusi.
Kuum tags: 1200c kolme küttetsooni pecvd süsteem, Hiina 1200c kolme küttetsooni pecvd süsteemi tootjad, tarnijad





