1200C kolme küttetsooniga PECVD süsteem
1200C kolme küttetsooniga PECVD süsteem

1200C kolme küttetsooniga PECVD süsteem

SK2-CVD-12TPB4 on PECVD-süsteemi toruahi, mis koosneb 300W või 500W RF-toiteallikast, mitme kanaliga täppisvoolusüsteemist, vaakumsüsteemist ja toruahjust. Tavaliselt kasutatav temperatuur on 1100 kraadi Celsiuse järgi või alla selle ning selle peamised omadused on madal sadestustemperatuur, kiire kiirus, hea kile kvaliteet, vähem auke ja vähem altid pragunemisele. Ideaalne seade nanojuhtmete kasvatamiseks või erinevate õhukeste kilede valmistamiseks CVD meetodil.
Küsi pakkumist
Tunnusjoon

 

● Maksimaalne temperatuur RT-1200 kraadi

● Split tüüpi ahi, saate ahju avada.

● Võimaldab sisestada rohkem kui 2 kanalit gaasi vaakumastmega 10 Pa, kasutades signaali tugevdamiseks mehaanilist pumpa ja 500 W RF-toiteallikat.

● Kvaliteetsed alumiiniumoksiidi keraamilised kiud isolatsioonimaterjalid

● Temperatuuri reguleerimise täpsus ±1 kraad

● Ületemperatuuri häirefunktsiooniga

● Jahutusventilaator võib korpuse temperatuuri alandada

 

Mudel

SK2-CVD-12TPB4

Mõõdud: standardne küttetsooni pikkus (mm)

440 mm

Mõõdud: standardse toru läbimõõt (mm)

∮60 mm

Max.temperatuur

1200 kraadi, pidev töötemperatuur 1100 kraadi.

Pinge (V)

220 1P

Termopaari tüüp

K

Kütteelement

HRE sulami takistustraat

Temp.Täpsus

±1 kraadi

Küttekiirus

0-30 kraadi/min vaba reguleerimine

Kambri materjal

Kasutades täiustatud kvaliteetset alumiiniumoksiidi mikrokristallkiudmaterjali

Ahju struktuur

Kahekihiline õhkjahutusega struktuur, pinnatemperatuur on alla 60 kraadi

Temperatuuri regulaator

Intelligentne PID temperatuuri reguleerimise instrument, 30 programmisegmenti, SSR juhtimine, PID parameetri isehäälestusfunktsioon; programm temperatuuri tõstmine, programm soojuse säilitamine, programm jahutus

500W RF toiteallikas

Väljundvõimsus: 5-500W ±1 kraadi

RF-sagedus: 13,56 MHz ±0,005%

Peegeldunud võimsus: kuni 100W

Sobivus: automaatne

RF liides: 50Ω, N-tüüpi

Jahutus: õhkjahutus

Toiteallikas: AC 208-240V, 50/60HZ

4 gaasikanaliga täppisvoolusüsteem

1. Täisskaala voolukiirus (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10L/min.

2. Klapi tüüp: Solenoldi klapp.

3. Klapi puhkeasend: tavaliselt suletud.

4. Diferentsiaalrõhk: (50-300) kpa

5. Survekindlus: 3mpa.

6. Töötemperatuur: 5-45 kraadi

7. Materjalid: roostevaba teras 316L.

Vaakumsüsteem

5*10-3Pa

KF25 kiirühendus, roostevabast terasest lõõts, manuaalne klapp ja äärik, vaakumpump

Valikuliselt saab varustada ka kõrgemaid vaakumsüsteeme.

image001

TERE TULEMAST OEM/ODM

 

Standardtarvikud

 

Termokindad|Tiiglikonks|Termopaar|Toruplokk|Kasutusjuhend |Tööriistad|Vaakumpump| Kvartstoru |Äärik |Tihendusrõngas |10mm gaasivoolik |Ääriku tugi, Gaasisüsteem, RF-võimsus.

 

Valikuline

 

Teie valitud erinev küttetsoon;

LCD puutetundliku ekraani juhtimine valimiseks

RS485/USB-port arvuti ühendamiseks.

 

Üksikasjalik pilt CVD-PECVD jaoks

 

image003
500W RF toiteallikas
image005
Vaakumsüsteem
image007
4 gaasikanaliga täppisvoolusüsteem

 

Rakendus

 

Seda seadet kasutatakse peamiselt nanojuhtmete kasvatamiseks või erinevate õhukeste kilekasvude ettevalmistamiseks CVD meetodil.

 

Garantii

 

Üheaastane garantii ja eluaegne tehniline tugi

Spetsiaalsed näpunäited:

1. Kulumaterjalid nagu kütteelement, kvartstoru, proovitiigel jne ei kuulu garantiiaja alla.

2. Garantii ei hõlma söövitava gaasi ja happegaasi kasutamisest põhjustatud kahjustusi.

 

Kuum tags: 1200c kolme küttetsooni pecvd süsteem, Hiina 1200c kolme küttetsooni pecvd süsteemi tootjad, tarnijad