Seadmed kütmiseks vaakumkeskkonnas. Ahjukamber juhitakse kõrgvaakumpumbasüsteemi torudega metall- või kvartsklaasist kaanega suletud ahjus. Ahju vaakumaste võib ulatuda 133×(10-2~10-4)Pa. Ahju küttesüsteemi saab soojendada otse takistusahju traadi (nt volframtraadi) elektriküttega või kõrgsagedusliku induktsiooniga. Maksimaalne temperatuur võib ulatuda umbes 3000 kraadini. Seda kasutatakse peamiselt keraamika põletamiseks, vaakumsulatamiseks, elektriliste vaakumdetailide degaseerimiseks ja lõõmutamiseks, metallosade jootmiseks ja keraamiliste metallide tihendamiseks.